Herzlichen Danke an alle, ich habs nun hinbekommen. PWM läuft für die Pins B1, D3 und D5

Meine Lösung:
Code:
// PWM für PB1
DDRB |= (1<<PB1); // Port OC1A mit angeschlossener LED als Ausgang
TCCR1A = (1<<WGM10) | (1<<COM1A1); // PWM, phase correct, 8 bit.
TCCR1B = (1<<CS11) | (1<<CS10); // Prescaler 64 = Enable counter
OCR1A = 128-1; // Duty cycle 50% (Anm. ob 128 oder 127 bitte prüfen)

// PWM für PD3
DDRD |= (1<<PD3);   
TCCR2A = (1<<COM1A1) | (1<<COM1B1) | (1<<WGM01) | (1<<WGM00);
TCCR2B = (1<<CS01);
OCR2B = 128-1;
OCR2A = 128-1;

// PWM für PD5
DDRD |= (1<<PD5); // Läuft  
TCCR0A = (1<<COM1A1) | (1<<COM1B1) | (1<<WGM01) | (1<<WGM00);
TCCR0B = (1<<CS01);
OCR0B = 128-1; // D5
OCR0A = 128-1;