Hallo,
die Angabe des Leiterbahnabstandes des Herstellers ist wohl die, wo er gerade noch fertigen kann. Ich würde das nicht unbedingt komplett ausreizen, lieber etwas großzügiger sein und größere Abstände und Leiterbahnbreiten verwenden soweit das möglich ist. Lieber immer im Hinterkopf behalten, dass man das noch Bestücken und Löten muss.
Kannst ja mal 0,5mm probieren und sehen wie's aussieht.
Und immer ein Backup parat haben, falls man nochmal zurück möchte...

Ich sehe durchaus ein, dass es am Prozessor eng wird und es dort kaum eine andere Möglichkeit gibt.

Durch zu feine Strukturen kann es eventuell Probleme beim Ätzen geben. Falls es größere Flächen gibt, die die Säure wegfressen muss und dafür länger braucht, kann es sein, dass die feinen Strukturen dann schon unterätzt wurden (zu viel weggeätzt).

Grüße,
Bernhard