Soweit ich mich daran erinnere war da mal irgend wo ein Artikel, der erklärte, warum die Chipherstellung, genauer die Belichtung mit UV-Licht so kompliziert ist: Weil UV-Licht ab einer bestimmten Wellenlänge sich durch Linsen nicht sehr beeindrucken lässt sondern das das Spiegel vonnöten sind.
Also wäre hier vielleicht ein entsprechender Hohlspiegel hinter der Lichtquelle angebracht.

Ich weiss allerding nicht, inwieweit das für die Wellenlängen die zum Beleichten von Platinen vonnöten sind gilt.

Florian