EDIT:
Oh mann, ich habe die Fehler für das schlechte Ätzergebnis gefunden. Ich habe viel zu wenig Natriumpersulfat verwendet, auch war die Temperatur wohl ein wenig zu hoch. Zudem habe ich die Menge des Natriumpersulfat bzw. Natriumhydroxid immer nur für sehr geringe Mengen Wasser abgeschätzt, was sehr fehlerbehaftet war, da die Briefwage nur in 5g schritten messen kann. Jetzt habe ich mich mal exakt an die Mengen die auf den Verpackungen stehen gehalten und jeweils auch gleich einen ganzen Liter der Flüssigkeiten angemischt und siehe da das Ergebnis ist ein Traum. Gerade alle 100 Pins auf der Platine nach Kurzschlüssen durchgemessen und keinen einzigen gefunden. Achso, außerdem habe ich mal den Wert der Isolierungen der Masseflächen deutlich erhöht, was sicher auch zu dem guten Ergebnis mit beigetragen hat.

Das Herstellen der Platine ist jetzt wohl kein Problem mehr. Trotzdem freue ich mich nicht zu früh. Als nächstes müssen die Löcher gebohrt und dann kommt ja auch noch das Löten, was auch noch mal eine Herausforderung wird.