Irgendwas scheint mit den 4067 faul zu sein. Mit dem kleineren 4051 usw. hatte ich bisher nie Probleme. Normalerweise sollte der 10 Bit wert um etwa 1 LSB Schwanken, vielleicht auch mal 2.

Könnte es ein Softwareproblem sein, mit zu hoher Taktfrequenz oder dauerndem umschalten der Referenz ?