Geht es denn um eine Kraft- bzw. Beschleunigungsmessung?

Dann könnte man doch auch versuchen, die Kapazität zwischen den Platten zu messen, die sich ja ändert -- vorausgesetzt, nur eine biegt sich durch.

Die Kapazitätsänderung dürfte aber sehr klein sein, im Bereich von fF oder pF, zumal sich nur der Abstand in der Mitte ändert, nicht am Rand. Das erschwert zudem die Modellierung, aber man kann ja auch Messen und die Werte speichern.

Jedenfalls muss man dann nicht mit wahnsinnigen Spannungen rumhantieren