Wie genau läßt sich das denn machen? Ich brauche ja einen sehr kleinen Druck: 13,3 Pa. Ich würde jetzt gefühlsmäßig sagen, daß über so eine Ein-/Ausströmung doch eher große Unsicherheiten reinkommen...
Einströmung:
Die Druckdifferenz zum höheren Druckniveau wird man vermutlich recht genau einstellen können. Dann ist der Durchfluß hauptsächlich von der Düse abhängig, hier sollte man laminare Strömung anstreben (entweder lange Kapillare oder Fritte). Soweit ich weiß, wird bei Vakuum- Batchprozessen (Plasmabehandlung, Sputtern, CVD,...), die bestimmte Gaskonzentrationen benötigen über solche Kapillaren und einem zeitgesteuertes Magnetventil die Gase in den evakuierten Rezipienten eindosiert. Düsengeometrie und Viskosität des Gases sollten nur einen leichten Temperaturgang haben. Ich könnte mir vorstellen, dass man da gut reproduzierbare bzw. zeitkonstante Werte hinbekommt (zumal langsame Änderungen bei der vorgeschlagenen Variante ausgeregelt werden).

Ausströmung:
Hier braucht man ein Stellglied (Klappe/Ventil(Schieber) das schon einen vergleichsweise großen Querschnitt bei relativ kleiner Durchströmung haben dürfte. Die Druckdifferenz ist ja klein. Das macht die Sache wieder einigermaßen handhabbar und robust.

Es stellt sich noch die Frage nach dem Meßglied (Kolben, 20cm Durchmesser, 42,5 Gramm schwer?). oder doch zwei kommunizierende Gefäße mit Sperrflüssigkeit (lieber Öl als Wasser, wegen Benetzbarkeit, Dichte, Dampfdruck, Korrosion), die Höhendifferenz der Flüssigkeitsspiegel wäre dann mit großer Genauigkeit zu erfassen. Vorgeschlagen wurde ja auch eine Membran. Ein rotierender Kolben, dessen Dichtspalt mit Öl gefüllt ist, dürfte sowohl ausreichend dicht, als auch frei von Haftreibung sein.
So ein Kolben kann auch als Stufenkolben ausgeführt werden und damit als Druckübersetzung zu einem höheren, besser erfassbaren Druckniveau verwendet werden.