Wie kommst du eigentlich darauf das der Oszillator noch funktioniert?
Hast du es mit einem anderen ext. Takt an XTAL1 probiert?
Wenn PonyProg auch nicht funktioniert dann könnte es sein das du das SPIEN deaktiviert hast. Dann geht nur mehr HV-Programming.
Ein sonstiger HW-Fehler ist natürlich nicht auszuschließen.