Der 2203 ist sogar noch besser, er hat nur die halbe Eingangskapazität.
Der R zwischen Port und Gate ist relativ unkritisch, 200 Ohm sollten gehen. Ist er zu groß, wird der FET warm, ist er zu klein, kann es Störungen geben oder der µC wird überlastet (unwahrscheinlich bei diesem FET).
Die Störungen wiederum können den FET auch erwärmen lassen, weil er dadurch nicht mehr sauber durchschaltet. Je länger er eine zu niedrige Vgs hat, desto länger fällt unnötig Leistung an ihm ab und er erwärmt sich.
Hochfrequentes "Aufschaukeln" geschieht nur bei hochfrequenter Ansteuerung. Reflexionen gibt es auch schon bei einzelnen Pulsen.
Die Störungen kommen durch die relativ hohe Kapazität des FETs.
Ürbigens ist Deine Lösung keine HardwarePWM, sondern eine SoftwarePWM. D h, dass währenddessen Dein µC nichts mehr anderes machen kann. Die "Wait" befehle kann man vermeiden, wenn man die TimerIRQs (OCIE) benutzt.
Gruß