Man wird allgemein versuchen eine kleine Kapazität mit enem RC Tiefpass zu messen, wegen der linearen Abhängigkeit der Frequenz von der Kapazität und der besseren Konstanz des Widerstands gegenüber einer Spule.
Schaltungstyp wie beim NE555 nur mit entsprechend kapazitätsarmen Eingang.
Beispiele gibt es bei Feuchtesensoren und bei Näherungssensoren im nm bis pm Bereich.