Die Absolute genauigkeit die man erreichen kann wird vor allem Davon abhängen, was man an genauen Vergleichskondensatoren hat. Wenn es darum geht kleine Änderungen festzustellen, ohne das die Skalierung Stimmen muß, kann das schon recht genau werden. Da dürfte die Temperaturstabilität der Schaltung und ggf. der Zuleitung begrenzend werden. Eine Stabilität bis auf 0,1-1 % oder so sollte drin sein. Für eine Gesamtkapazität von z.B. 20 pF wären das dann also etwa 0.02 pF als Auflösung. Wenns wirklich gut sein soll müßte man die Temperatur der Schaltung entweder konstant halten oder wenigstens messen.

Die reine Auflösung der Frequenzmessung ist sogar noch deutlich höher. Wie Stabil der LMC555 so ist weiß ich nicht, aber mit dem XR2206 sind schon mal 5-6 Stellen kurzzeitig stabil, wenn man der Schaltung nicht zu nahe kommt.