Es sollten auf keinen fall mehr als 5,5 Volt sein. Um sicher zu gehen solltest du versuchen, nicht über 5Volt zu kommen.
mit 4,5 Volt sollte auch noch alles bei einem 16MHz Quarz vollständig funktionieren. Ob bei 3Volt und einem 16MHz der µC noch im vollen Umfang funktionsfähig ist kann ich nicht sagen.

Kurz: Es sollte möglichs genau 5Volt sein.

jon