Und wie messe ich z.B. 0.01pF (=10fF) mit einem Aufbau, der mindestens 2pF Streukapazität gegen die nächste Masse hat? Diese Parasiten haben üblicherweise einen gewissen Temperaturgang, der um Größenordnungen über dem Meßeffekt liegen kann.

Gruß H.A.R.R.Y.