Vielen Dank für eure Antworten.

Ich habe eine NE555-Variante gefunden, aber sie ist etwas instabil. Man müsste eben testen, ob diese Variante auf einem Layout oder Streifenraster stabiler wäre.

Aber ich habe das gleiche Problem, wie auch beim AtTiny-Test. Dort hatte ich es am Freitag auch hinbekommen, diese Frequenz nahezu zu erreichen, aber ich bekam sie nicht getrieben. Das gleiche Problem tritt hier wieder auf.
Egal, was ich für einen Treiber nehme, nach ihm ist die Frequenz weg. Aber, wenn ich auf eine kleinere Frequenz (ca. 50 kHz) umstelle, geht es.

Als Treiber habe ich getestet:
- BC547
- BD139
- BUZ11 (MOSFET)
- ULN2003 & ULN2803

Was mache ich falsch, dass all diese Treiber diese Frequenz "töten"? Im Datenblatt des BD139 steht beispielsweise, dass er 190 MHz "kann".
Ich habe es auch mal mit einem 40106 Schmitt-Trigger versucht. Er hat die Frequenz korrekt "getrieben", aber es ist eben kein Treiber.

@s.o.:
Vielen Dank für Deinen Tipp. Ich habe leider nur 8MHz Quarzoszillator da, aber ich werde einen kaufen. Die Idee gefällt mir sehr gut. Aber ich habe als Teiler nur CMOS der 40*-Serie da, die können alle nur 1MHz.
Nachtrag: Ich erreiche mit keinem der bei Reichelt erhältlichen Quarzoszillatoren und einem Teiler (Vielfaches von 2) meine Frequenz genau genug. Das genauste liegt noch mehr als 5 kHz entfernt, das ist leider zuviel.