Evtl. kannst du die Frequenz über den Timer1 erzeugen. Den Pin OCA1 kannst du per Hardware taktgenau toggeln lassen. Da bruachst du dann keinen einzigen Befehl dafür. Ob das allerdings weit über 500kHz raus geht kann ich dir leider nicht sagen.
Ich habe das genuzt für eine Ansteuerung von RFID Chips (als ich noch bei Atmel gearbeitet habe). Allerdings war hier die benötigte Frequenz 125 kHz (nebenher noch allerlei Zugriffe auf externes SRAM und EEPROM). Controller war der Mega8515 mit C programmiert (auch mit 16MHz).
Vielleicht kannst du die Frequenz auch mit einem externen Oszillator erzeugen. Wenn sie in der Frequenz variabel sein muss, kannst du einen VCO (Voltage Controlled Oscillator) verwenden.
Viele Grüße
Flite
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