AVCC entkoppelt (LC-Glied, s. Datenblatt)? Steht genug Strom für die Referenz zur Verfügung (die hat eine Impedanz von 32kOhm)?

Ist der VRef pin mit 100n nach GND gelegt (s. Datenblatt)?

Musst Du "ADCClose" durchführen? Wie verhält sich die Messung (mehrere hintereinander), wenn Du den ADC enabled lässt?