Die Pause kannst du fest lassen(aber lieber 19ms als 18, bei zu kurzen Zyklen sollen manche Servos flattern).
Zu dem Prescaler: Ich kann ja einen hohen Teiler einstellen um die ca 20ms zu warten und dann einen kleineren damit ich mit den 8bit die 1ms besser auflösen kann oder?
Genau! Beim 8Bit-Timer kannst du es so machen(oder auch einfach die Überläufe für die langen Pausen zählen. Dann läuft deine ISR aber unnötig oft ab).
18 ms Pause
1 ms High
und dann zwischen 0 und 1ms genau einstellbar machen oder sehe ich da was falsch?
Das geht. Je nachdem, welche Taktfrequenz du verwendest, kannst du die 1-2ms auch direkt erzeugen(ohne die 1ms High einzeln), da es, wenn du nicht extra für den Zweck deinen Quarz aussuchst, den "perfekten" Prescaler wahrscheinlich ohnehin nicht gibt.