Schau Dich mal nach nem PLL (Phase locked Loop) um - damit gehts am einfachsten und es wird sicherlich einige geben die sich von einem µC ansteuern lassen.
Bei vielen mir bekannten µC ist bei etwa 32MHz am PWM-Ausgang Schluß - die nächste Stufe wären 16MHz.
Du solltest auch bedenken das Du mit der "verhundertfachung" der Frequenz auch die Schrittweite um gleichen Faktor erhöhst.
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