Ich glaub nicht, das man das Pauschal sagen kann.
Ich hab gehört, das man mit Sprühätzen kleiner gehen kann, mit Schaumätzen hab ich keine Erfahrungen. Hab mir einen Sprühätzer gebaut, aber der ist noch nicht getestet.

Ich sag mal bei 4mil (ca. 0,1mm) wird mal irgendwo die grenze sein. Aber dabei glaub ich nicht, das das mit dem heimichen belichten noch geht, sondern schon eher mit der Toner-Methode.

Thomas Pfeifer (http://thomaspfeifer.net/) hat sogar 3mil (0,0762 mm) geätzt Respekt!