Positiosbestimmung von Wafern

[Manf]

ich konstruiere eine Anlage, die Wafer berührungslos positionieren soll.
Außerdem wäre ich sehr dankbar wenn auch mal hilfreichere Antworten geschrieben werden.

Die Aufgabenstellung läßt ja noch einges offen.
Bei berührungsloser Positionsbestimmung denkt man sicher zuerst an optische Abtastung.
Da es sich insgesamt um Transport handelt gibt es auch eine Bewegung relativ zum Wafer.
Es kann dann unter entsprechenden Umständen auch eine einfache Lichtschranke pro Bewegungsrichtung zur Postitionsbestimmung eingesetzt werden.
Manfred

[Amiwerewolf]

um was für eine analge handelt es sich den? bzw. was für ein prozess findet anschließend stadt?
welche größe haben die wafer?
wie wird gehandelt?
wie wird der wafer ausgerichtet?