Bei der Abtastung von Rastern um 0,1 mm nimmt man mistens nicht mehr nur einen Splt sondern einen Mehrfachspalt, zweites Gitter mit dem gleichen Abstand wie das Messgitter. Es gehen dann bei Bewegung alle Lamellen auf und zu und bringen die n-fache Lichtleistung.

Ein zweites Gitter um 90° phasenverschoben sorgt für die Richtungsinformation.