Sag mal, was in/nach den 833µs passieren soll und wie genau Du die 833µs einhalten musst.
Das ist entscheidend für den Ansatz, 833µs in Atmega-Hardware oder Software zu realisieren. In Hardware lässt sich Taktgenau einfacher umsetzen... Z.B. einen Port für _exakt_ 833µs auf High zu setzen.

Welchen Atmega verwendest Du?