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Ist das ein piezoelektrischer Sensor oder ein piezoresistiver Sensor?
Der piezoresistive Effekt beruht auf der Veränderung eines spezifischen Widerstands durch mechanische Beanspruchung.
Aufgrund seiner kubischen Gitterstruktur hat Silizium ein isotropes Widerstandsverhalten. Dies ändert sich jedoch unter Einfluss einer mechanischen Spannung. Silizium ist nur in einem begrenzten Bereich verformbar (spröde), sein elektrischer Widerstand ist jedoch stärker veränderbar.
Der piezoelektrische Beschleunigungssensor -aufnehmer arbeitet nach dem piezoelektrischen Prinzip. Somit kommt es bei einer mechanischen Deformation (Kompression oder Scherung) zu einer Ladungstrennung und damit zu einer abgreifbaren Ladung (bzw. Spannung) an den aufgedampften Elektroden.
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