Die Membranpumpe ist etwa wie eine Kolbenpumpe aufgebaut, sie arbeitet mit geringem Hub. Man kann damit die Konstruktion des Kolbens vereinfachen, die dicht und reibungsarm sein soll.

Hier sind einige Pumpen beschrieben:
http://www.hcrs.at/VAKUUM.HTM
Bild hier  

Gib doch mal an, welchen Druck und welchen Duchsatz Du benötigst.
Manfred