Beim KTY wird der Ausbreitungswiderstand gemessen. Ich hatte schon mal eine einfachere Beschreibung davon.
Hier erst einmal ein paar Quellen zum Thema.
Manfred

http://mikro.ee.tu-berlin.de/hlb/pra...Versuch_V1.pdf

http://www.linuspithan.de/schule/MST...umsensoren.pdf

http://www.fh-coburg.de/fileadmin/FB...F_Nov_2005.pdf