Eine Grundplatte.
Darunter oder an jeder Ecke einen Piezoaktuator.
Das war das Thema einer Diplomarbeit eines Freundes am Institut für Prozessrechentechnik in Karlsruhe.
Ein Mikroroboter als Mikromanipulator mit 3 Piezofüßen auf einer Glasplatte herumfahrend. Genauigkeit im Nanometerbereich.

Gruss,
stochri