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Archiv verlassen und diese Seite im Standarddesign anzeigen : Positiosbestimmung von Wafern


Michi1814
27.10.2006, 11:35
Servus Leute,
ich konstruiere eine Anlage, die Wafer berührungslos positionieren soll. Dazu soll die Position des Wafers bestimmt werden um eine passende Regelung zu entwerfen. Eigentlich sollten für die Positionsbestimmung CIS-Sensoren (M106-A6) von der Firma Eureca verwendet werden. Leider sind die zugehörigen Platinen aber sehr teuer. Daher stellt sich die Frage, welche anderen Möglichkeite es gibt, die Position des Wafers zu bestimmen. Am günstigsten wären Zeilensensoren die mit zunehmendem Überdeckungsgrad eine größere Spannung liefern. Kennt einer von euch eine günstige Lösung?
Manf
27.10.2006, 11:57
Welche Genauigkeitsanforderung besteht denn dafür?
Manfred
Michi1814
27.10.2006, 15:00
Entschuldige, dass ich erst so spät zurückschreibe, aber ich musste leider weg. Am besten wäre ein analoges Signal das kontinuierlich mit der Überdeckung ansteigt. Wären zum Beispiel Fotodioden geeignet?
CowZ
27.10.2006, 15:55
Und mit welcher Genauigkeit? (Ich wiederhol hier einfach mal die Frage ;))

Genauigkeit: Musst du das auf nen cm, mm, oder nm oder noch genauer positionieren?
Michi1814
30.10.2006, 10:11
Von der Genauigkeit würde ich sagen, dass man auf zehntel bis ein mm genau bestimmen sollte
Manf
30.10.2006, 10:59
Bis zu 1mm Positioniergenauigkeit?
Um was für einen Wafertyp oder welche Anwendung handelt es sich dabei?

http://images.google.de/images?q=tbn:s4nuoZcSQ_qKwM:http://www.thebiscuitdoctor.com/images/F/1/d/1dk-Plain-wafer.jpg
Babbage
30.10.2006, 12:19
Oh man Manf

Es weiß doch jeder das Wafer meist rund sind. Es muß sich also um diesen Typ handeln:
http://www.albanesi.it/Alimentazione/cibi/Imma/wafer.jpg

Die müssen dann noch dotiert werden mit Schoko oder Vanille.

P.S. sorry Michi1814
Manf
30.10.2006, 13:06
Genau, nur ernsthaft:
Geht es wirklich um eine Anwendung, bei der ein Siliziumwafer auf 1mm Toleranz positioniert wird?
(Für eine Eiswaffel reicht das sicher in den meisten Fällen aus. )

Manfred
Michi1814
30.10.2006, 13:57
Es geht in einer Semesterarbeit nur darum den Wafer zu positionieren. Es soll nur eine Übergabe von einem Greifer auf diese Anlage stattfinden. Wie ruhig Wafer der auf dieser Anlage balanciert wird ist erstmal egal.
Michi1814
30.10.2006, 14:20
Außerdem wäre ich sehr dankbar wenn auch mal hilfreichere Antworten geschrieben werden.
Manf
30.10.2006, 17:06
ich konstruiere eine Anlage, die Wafer berührungslos positionieren soll.
Außerdem wäre ich sehr dankbar wenn auch mal hilfreichere Antworten geschrieben werden.
Die Aufgabenstellung läßt ja noch einges offen.
Bei berührungsloser Positionsbestimmung denkt man sicher zuerst an optische Abtastung.
Da es sich insgesamt um Transport handelt gibt es auch eine Bewegung relativ zum Wafer.
Es kann dann unter entsprechenden Umständen auch eine einfache Lichtschranke pro Bewegungsrichtung zur Postitionsbestimmung eingesetzt werden.
Manfred
Amiwerewolf
31.10.2006, 19:36
um was für eine analge handelt es sich den? bzw. was für ein prozess findet anschließend stadt?
welche größe haben die wafer?
wie wird gehandelt?
wie wird der wafer ausgerichtet?